一种磁控溅射基台与磁控溅射设备
一种高Al含量的c-TiAlSiN硬质涂层及其制备方法
一种Ti-Mo-B系三元硼化物涂层及其制备方法
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一种以纳米碳材料的热扩散为预处理的硬质涂层制备方法
一种磁控溅射离子镀膜预清理装置
一种磁控溅射箱体的密封装置
一种磁控溅射箱体的冷却装置
一种磁控溅射设备的抽气装置
一种碳纤维-(Ti,V)(C,N)硬质合金及其制备方法
一种自适应离子强度的磁控溅射台
一种用于磁控溅射设备的旋转样品台
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