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一种蚀刻光学器件的等离子体蚀刻装置
一种基于等离子体蚀刻的连续双面蚀刻光学器件的装置
一种基于氧气等离子体蚀刻的PS小球循环刻蚀工艺
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一种等离子体刻蚀电纺纤维膜SERS基底的制备方法
一种大口径光学元件的等离子体刻蚀方法
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一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机
一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机
一种能够监测内部土体接触状态的吸力式基础及监测方法
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